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CKD電子式壓力開關(guān),喜開理電子式壓力開關(guān)

本系統(tǒng)是專為半導體生產(chǎn)設備供氣管路而開發(fā)的，
是一種將按照SEMI標準化的表面安裝型氣控閥?
流量控制器等進行緊湊型集約化的產(chǎn)品。，
錯誤的元件選型及使用，不僅會導致本產(chǎn)品發(fā)生故障，
還可能導致客戶系統(tǒng)發(fā)生故障。元件選型及使用時，客
戶必須負責確認本產(chǎn)品規(guī)格與其系統(tǒng)的適用性后再使用。
本產(chǎn)品是為真空或惰性氣體的控制而設計的，如果用來控
制其他流體（活性氣體、液體或固體等），可能會導致產(chǎn)品
無法維持正常動作或性能顯著下降，敬請注意。使用時，
請務必確認與氣體接觸部分的材質(zhì)與使用流體之間的適用
性。使用流體可能會出現(xiàn)固化時，請在確認使用中不會出
請在本產(chǎn)品規(guī)格允許的流體溫度及使用壓力范圍內(nèi)使用。
請避免使用在配管內(nèi)可能會結(jié)晶并堆積的流體。
■ 氣缸內(nèi)部和波紋管內(nèi)部與大氣是直接連通的。使
勿堵塞波紋管內(nèi)部與大氣的連通

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