日本神視晶圓定位傳感器，進(jìn)口SUNX晶圓定位傳感器
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牢固型光電傳感器RX系列
牢固U形光電傳感器RT-610系列
圓柱形光電傳感器CY系列
電源內(nèi)置
小型多電壓光電傳感器NX5系列
放大器分離
薄型自動(dòng)靈敏度設(shè)定光電傳感器SU-7/SH系列
微型
連接器內(nèi)置·H型微型光電傳感器PM-64系列
U形微型光電傳感器PM24/44/54系列
限定反射微型光電傳感器PM2系列
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
日本SUNX神視 晶片定位傳感器 M-DW1
神視SUNX是世界上早開發(fā)光電傳感器的公司,1971年，帶有LED（發(fā)光二極管）反射型光電傳感器問世之后，運(yùn)用高度的傳感器技術(shù)、生產(chǎn)技術(shù)，制作出高性能高品質(zhì)的產(chǎn)品，以傳感器事業(yè)，LMP事業(yè)，AiS事業(yè)為中心，滿足全球市場(chǎng)及產(chǎn)業(yè)界的所有需求。神視SUNX的企業(yè)理念為：作為國(guó)際性企業(yè)SUNX將以傳感器技術(shù)為核心，以的技術(shù)及服務(wù)與廣大客戶共同實(shí)現(xiàn)美好未來(lái)。
產(chǎn)品型號(hào)：
放大器分離型數(shù)字激光傳感器LS-403系列
數(shù)字激光傳感器LS系列
日本神視晶圓定位傳感器，進(jìn)口SUNX晶圓定位傳感器
特點(diǎn)
安全性的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1使用LED光源。確保操作人員安全。
安全性的LED式
亦可檢測(cè)玻璃晶圓
M-DW1以反射光的位置來(lái)檢測(cè)，不管反射光量的都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
亦可檢測(cè)玻璃晶圓
可檢測(cè)涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
0.5ms的高速反應(yīng)
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
可從四個(gè)方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
可從四個(gè)方向引出電纜
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型 距離設(shè)定反射型光電傳感器EQ-500系列
距離設(shè)定反射型光電傳感器RX-LS200系列
放大器內(nèi)置
小型光電傳感器CX-400系列
小型·可調(diào)節(jié)檢測(cè)距離的反射型光電傳感器CX-440系列
薄型光電傳感器EX-10系列
小型光電傳感器EX-20系列
螺紋頭小型光電傳感器EX-30系列
限定反射型光電傳感器EX-40系列
長(zhǎng)距離設(shè)定反射型光電傳感器EQ-30系列
日本神視晶圓定位傳感器，進(jìn)口SUNX晶圓定位傳感器
