CKD工藝氣體用閥SRL3-LB-50B-200-MOH3-T產(chǎn)品說明
使用PMP系列時(shí)，先導(dǎo)空氣通過膜片，可能會(huì)在液體中產(chǎn)生氣泡。不便用時(shí),建議不要對(duì)先導(dǎo)空氣持續(xù)加壓。
對(duì)于AMD系列的帶流量調(diào)節(jié)以及MMD系列,請(qǐng)將調(diào)節(jié)旋鈕從全閉狀態(tài)向打開方向能轉(zhuǎn)規(guī)定圈數(shù)以上使用。若低于上述值使用,在某些條件下可能會(huì)發(fā)生攝動(dòng)、流量變化等?！秴⒄盏?16-120頁)此外。流體溫度發(fā)生變化時(shí),在某些使用條件下也可能發(fā)生流量變化。
采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。
已作為采用鍛造閥體的通用型產(chǎn)品發(fā)布。
備有氣控型、手動(dòng)型。行業(yè)化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件化學(xué)液體供給設(shè)備用元件半導(dǎo)體制造工序（前工序）氮?dú)馇逑搓P(guān)聯(lián)元件
采用金屬膜片的工藝氣體用閥的核心產(chǎn)品。
除單體、集成型外，還備有3通閥、2連3通閥等種類豐富的產(chǎn)品。節(jié)能型真空排氣裝置。工藝氣體排氣用真空發(fā)生器。
噴嘴直徑：Φ0.5采用金屬膜片的工藝氣體用減壓閥。
為氣體壓力、流量的穩(wěn)定化作出貢獻(xiàn)。
供液用化學(xué)液體氣控手動(dòng)閥AMD海1H-MMD※0H系列化學(xué)液體用氣控手動(dòng)閉AMD※1M-MMD崇0M系列注意
利用簿膜回收透過氣體或檢測(cè)池潺時(shí),請(qǐng)拆下止動(dòng)螺絲，將檢測(cè)口用作配管口。此時(shí)的配管假定為氟樹脂，請(qǐng)按0.4N -m以下的扭矩進(jìn)行緊固。
請(qǐng)?jiān)谌_或全閉狀志下使用MMDIOH。MMD5OM系列。不可在中問位置使用
描作閥時(shí),請(qǐng)將旋鈕旋轉(zhuǎn)至發(fā)生空轉(zhuǎn)為止(聽到“咔嗒"聲)。握著鎖緊環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)旋鈕不會(huì)空轉(zhuǎn)?？赡軙?huì)由于過度擰緊導(dǎo)致閥座老化或產(chǎn)品損壞。
即使旋鈕空轉(zhuǎn),但閥門仍不笑閉、或閥門不打開時(shí),請(qǐng)將嫁絲刀等工具插入能鈕側(cè)面的孔中,并旋轉(zhuǎn)旋鈕。觀察該孔，內(nèi)部出現(xiàn)綠色的指示器時(shí)，為可強(qiáng)制操作的獲態(tài)?？字锌床坏骄G色的指示器時(shí),請(qǐng)的轉(zhuǎn)旋鈕以對(duì)齊位置。
1AMD -GAMD系列中,根據(jù)流體壓力條件，可能會(huì)發(fā)生水錘、振動(dòng)等。大多數(shù)情況下可通過調(diào)速閥等調(diào)整開閉速魔來得到改善。如果無法改善，請(qǐng)重新考慮流體壓力、配管條件。
5.。rMM, rTM、rMr承列T,體品業(yè)片出、里.
供給壓力的變化、配管等的條件,可能會(huì)發(fā)生振動(dòng),從而影響產(chǎn)品壽命。一旦發(fā)生。請(qǐng)重新考慮流體壓力、流量條件。
減壓閥以微小的開度產(chǎn)生動(dòng)作,一旦流入混入雜質(zhì)的流體，將導(dǎo)致閥座受報(bào)，性能降低?？赡芑烊腚s質(zhì)時(shí)。建議在減壓閥的1次側(cè)安轉(zhuǎn)過濾群。
在過減壓閥設(shè)定壓力的輸出壓會(huì)導(dǎo)致二次側(cè)裝置損年或動(dòng)作不良的場(chǎng)所。請(qǐng)務(wù)必安裝安全裝置。
CKD工藝氣體用閥SCG553A018MS 220VAC產(chǎn)品說明
使用PMP系列時(shí)，先導(dǎo)空氣通過膜片，可能會(huì)在液體中產(chǎn)生氣泡。不便用時(shí),建議不要對(duì)先導(dǎo)空氣持續(xù)加壓。
對(duì)于AMD系列的帶流量調(diào)節(jié)以及MMD系列,請(qǐng)將調(diào)節(jié)旋鈕從全閉狀態(tài)向打開方向能轉(zhuǎn)規(guī)定圈數(shù)以上使用。若低于上述值使用,在某些條件下可能會(huì)發(fā)生攝動(dòng)、流量變化等。《參照第116-120頁)此外。流體溫度發(fā)生變化時(shí),在某些使用條件下也可能發(fā)生流量變化。
采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。
已作為采用鍛造閥體的通用型產(chǎn)品發(fā)布。
備有氣控型、手動(dòng)型。行業(yè)化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件化學(xué)液體供給設(shè)備用元件半導(dǎo)體制造工序（前工序）氮?dú)馇逑搓P(guān)聯(lián)元件
采用金屬膜片的工藝氣體用閥的核心產(chǎn)品。
除單體、集成型外，還備有3通閥、2連3通閥等種類豐富的產(chǎn)品。節(jié)能型真空排氣裝置。工藝氣體排氣用真空發(fā)生器。
噴嘴直徑：Φ0.5采用金屬膜片的工藝氣體用減壓閥。
為氣體壓力、流量的穩(wěn)定化作出貢獻(xiàn)。
供液用化學(xué)液體氣控手動(dòng)閥AMD海1H-MMD※0H系列化學(xué)液體用氣控手動(dòng)閉AMD※1M-MMD崇0M系列注意
利用簿膜回收透過氣體或檢測(cè)池潺時(shí),請(qǐng)拆下止動(dòng)螺絲，將檢測(cè)口用作配管口。此時(shí)的配管假定為氟樹脂，請(qǐng)按0.4N -m以下的扭矩進(jìn)行緊固。
請(qǐng)?jiān)谌_或全閉狀志下使用MMDIOH。MMD5OM系列。不可在中問位置使用
描作閥時(shí),請(qǐng)將旋鈕旋轉(zhuǎn)至發(fā)生空轉(zhuǎn)為止(聽到“咔嗒"聲)。握著鎖緊環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)旋鈕不會(huì)空轉(zhuǎn)?？赡軙?huì)由于過度擰緊導(dǎo)致閥座老化或產(chǎn)品損壞。
即使旋鈕空轉(zhuǎn),但閥門仍不笑閉、或閥門不打開時(shí),請(qǐng)將嫁絲刀等工具插入能鈕側(cè)面的孔中,并旋轉(zhuǎn)旋鈕。觀察該孔，內(nèi)部出現(xiàn)綠色的指示器時(shí)，為可強(qiáng)制操作的獲態(tài)?？字锌床坏骄G色的指示器時(shí),請(qǐng)的轉(zhuǎn)旋鈕以對(duì)齊位置。
1AMD -GAMD系列中,根據(jù)流體壓力條件，可能會(huì)發(fā)生水錘、振動(dòng)等。大多數(shù)情況下可通過調(diào)速閥等調(diào)整開閉速魔來得到改善。如果無法改善，請(qǐng)重新考慮流體壓力、配管條件。
5.。rMM, rTM、rMr承列T,體品業(yè)片出、里.
供給壓力的變化、配管等的條件,可能會(huì)發(fā)生振動(dòng),從而影響產(chǎn)品壽命。一旦發(fā)生。請(qǐng)重新考慮流體壓力、流量條件。
減壓閥以微小的開度產(chǎn)生動(dòng)作,一旦流入混入雜質(zhì)的流體，將導(dǎo)致閥座受報(bào)，性能降低。可能混入雜質(zhì)時(shí)。建議在減壓閥的1次側(cè)安轉(zhuǎn)過濾群。
在過減壓閥設(shè)定壓力的輸出壓會(huì)導(dǎo)致二次側(cè)裝置損年或動(dòng)作不良的場(chǎng)所。請(qǐng)務(wù)必安裝安全裝置。
CKD工藝氣體用閥SRL3-LB-50B-200-MOH3-T產(chǎn)品說明
