美國(guó)PARKER隔膜閥,派克產(chǎn)品系列
爆破壓力 375 psig (26 barg) (AOPLP, G)
900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
流體容量(CV) Cv 0.3 (AOP), Cv 0.22 (杠桿)
內(nèi)部泄漏率 ≤ 1 x 10ˉ9 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 x 10ˉ10 scc/sec He
內(nèi)部容積（毫升） 2.64 cc
重量（磅） 1.75
930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動(dòng)操作和氣動(dòng)執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用
閥體材料 非常清潔的 316L不銹鋼
隔膜材料 相當(dāng)于埃爾吉洛伊非磁性合金（Elgiloy）
Vericlean? 是派克專(zhuān)有的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹(shù)脂（PEEK?）和聚酰亞胺（Vespel?）材質(zhì)的閥座，可使930閥門(mén)與各種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)極度的耐腐蝕性和*循環(huán)使用壽命。
底座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(標(biāo)準(zhǔn))，PEEK（聚醚醚酮樹(shù)脂）,聚酰亞胺(Vespel)
蓋帽材料 17-4不銹鋼
螺母材料 316L 不銹鋼
重量（公斤） 0.8
開(kāi)關(guān)類(lèi)型 單刀單擲（SPST）
瞬時(shí)性動(dòng)作，不可調(diào)
輸入電壓 1/4 amp 在115 VAC(常閉)（AOPLPLSC，AOPMPLSC）
1/2 amp在115 VAC(常開(kāi))（AOPLPLSO，AOPMPLSO）
930系列采用不與過(guò)程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì)，可*限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必不可少的工藝污染。該系列閥門(mén)的嚴(yán)格設(shè)計(jì)，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門(mén)潤(rùn)濕部件由特種金屬制成，提供*的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean? 316L不銹鋼材質(zhì)。
殼體材料 陽(yáng)極氧化鋁
證明壓力 188 psig (13 barg) (AOPLP, G)
美國(guó)PARKER隔膜閥,派克產(chǎn)品系列
